Π—Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ курсовыС, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹...
ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π° Π·Π°ΠΊΠ°Π·. НСдорого!

ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ²

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠŸΡ€ΠΈ измСрСниях ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Ρ€ΡΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ являСтся Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ для измСрСния: мСханичСских, элСктричСских, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ…, Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… физичСских Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½. На ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚иях микроэлСктроники Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто измСряСмыми Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, расход ΠΈ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ. На Π½ΠΈΡ… приходится ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 80… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

На ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚иях микроэлСктроники Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто измСряСмыми Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, расход ΠΈ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ. На Π½ΠΈΡ… приходится ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 80% всСх ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠžΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ элСктричСскиС, оптичСскиС ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ измСрСния.

ΠŸΡ€ΠΈ измСрСниях ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Ρ€ΡΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ являСтся Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ для измСрСния: мСханичСских, элСктричСских, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ…, Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… физичСских Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½.

ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΏΠΎ Ρ€ΠΎΠ΄Ρƒ измСряСмой Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, ΠΊΠ°ΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ измСряСт ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ (Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π , Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ Π’, расход F, ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ L, количСство вСщСства Q ΠΈ Π’.Π΄.).

Π˜ΡΡ…ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°ΠΊΠ° прСобразования измСряСмой Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹:

  • β€’ нСпосрСдствСнной ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ;
  • β€’ сравнСния.

По Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Ρƒ измСрСния:

  • β€’ стационарныС;
  • β€’ пСрСносныС.

По ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρƒ отсчСта измСряСмой Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹:

  • β€’ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅;
  • β€’ Ρ€Π΅Π³ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅;
  • β€’ ΡΡƒΠΌΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅.

Π’ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ

ΠŸΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для нСпосрСдствСнного прСобразования измСряСмой Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ Π² Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΡƒΡŽ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ, ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡƒΡŽ для измСрСния ΠΈΠ»ΠΈ использования. Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ:

  • β€’ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Π΅ — ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² энСргии Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ, Ρ‚. Π΅. ΠΎΠ½ΠΈ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ (тСрмоэлСктричСскиС, ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅, элСкгрокинСтичСскиС, Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ);
  • β€’ парамСтричСскиС — ΠΊ Π½ΠΈΠΌ относятся рСостатныС, Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ, тСрмосопротивлСния ΠΈ Ρ‚. ΠΏ. Для ΠΈΡ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ источник энСргии;
  • β€’ мСханичСскиС — Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ сигналом мСханичСских ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ (ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, ΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Π΄ΠΈΡ„ΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Ρ€ΠΎΡ‚Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€.) являСтся усилиС, Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ элСмСнтом ΠΈΠΎΠ΄ дСйствиСм измСряСмой Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹.
ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ