Подготовка к работе

Установить технологическую оправу на рабочее место. Выставить верхнюю (базовую) плоскость основания в горизонтальное положение с помощью уровня. Отклонение от горизонтальности должно быть не более 0.1 мм/м.

Подключить оправу к общей системе заземления цеха.

Выставить три жесткие торцевые опоры узла технологического подъема в размер H₁ мм, на 0.5 мм меньше расчетного (H₁ = Н — 0.5) от верхней плоскости основания оправы.

Произвести контрольное взвешивание зеркала, установленного в грузозахватное устройство, с помощью весов крановых. Зафиксировать вес зеркала с грузозахватным устройством (М — вес зеркала с грузозахватным устройством).

Не снимая зеркало, установленное в грузозахватное устройство, с весов крановых произвести его опускание на три жесткие осевые опоры узла технологического подъема до достижения веса (М — 275) 25 кг, тем самым предотвращая возможность перегрузки зеркала.

Установить три узла фиксации зеркала (рис. 2.5).

Центрировать зеркало относительно оси оправы, используя винты узла фиксации зеркала.

Используя измерительное приспособление произвести замеры расстояния между образующей зеркала М1 и торцевыми поверхностями корпусов мембран. По результатам замеров произвести центрировку устройства относительно образующей зеркала М1. Завершить операцию центрировки по достижении разницы показаний измерительного приспособления не превышающей 0.1 мм. Угловая ориентация зеркала осуществляется по нуль-марке зеркала М1, которая совмещается с меткой на подложке с точностью 0.5 мм.

Произвести полное опускание зеркала краном.

Удалить грузозахватное устройство.

Подготовить к работе систему стабилизации:

• — подключить систему стабилизации к источникам питания: реле электронное — к сети переменного тока 220 В, 50 Гц; блок пневмоклапанов — к сети постоянного тока 24 В;
• — подключить систему стабилизации к источнику сжатого воздуха 49 kPa ± 30%.