Π—Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ курсовыС, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹...
ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π° Π·Π°ΠΊΠ°Π·. НСдорого!

Π—Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅. 
Расчёт Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ устройства судовой Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ усилитСлС

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π’Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠΎ-тСхничСскиС, конструктивно-тСхнологичСскиС, эксплуатационныС ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ характСристики Π­Π’Πœ ΠΈ ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Π½ΠΈΡ… микросхСмы, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ прСобразования, хранСния, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ° ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ с ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ², Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄ΡƒΠ±Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ фоторСзистором, ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислотой ΡΡ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ диоксид крСмния. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π—Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅. Расчёт Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ устройства судовой Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ усилитСлС (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

микросхСма Ρ†ΠΎΠΊΠΎΠ»Ρ‘Π²ΠΊΠ° микросхСма ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ Π’ΠΈΠΏ микросхСмы: К544Π£Π”2 Π’ Π€ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ устройство судовой Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠΊΠΈ: Π½Π΅ΠΈΠ½Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ напряТСниС 6 Π’, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ Π½Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄ напряТСния 16 ΠΌΠ’.

Π Π°ΡΡˆΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° систСмы условных ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ микросхСмы К544Π£Π”2 Π’.

ОписаниС Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния микросхСм

Π’Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠΎ-тСхничСскиС, конструктивно-тСхнологичСскиС, эксплуатационныС ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ характСристики Π­Π’Πœ ΠΈ ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Π½ΠΈΡ… микросхСмы, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ прСобразования, хранСния, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ° ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠΎΠΉ (ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ микросхСмой — ИМБ, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмой — ИБ) Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ элСктронный ΡƒΠ·Π΅Π» (ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡŒ), элСмСнты ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ конструктивно Π½Π΅Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС Π² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌ кристаллС-основании. ВСория, ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ расчСта ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния микросхСм ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ основу микроэлСктроники — соврСмСнной Π½Π°ΡƒΠΊΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΠΉ отрасли Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.

По ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ-тСхнологичСскому исполнСнию микросхСмы дСлятся Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎ-ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ основС монокристалл ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ крСмния), Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностном слоС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ лСгирования ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ транзисторы, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹, рСзисторы ΠΈ (ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π°) кондСнсаторы, Π° ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности кристалла с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ (ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ) ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ (микросборками). ΠžΠ΄Π½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ корпус с Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ для ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ (ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ) ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅, ΠΈΠ»ΠΈ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ бСскорпусной ΠΈ Π²Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² микросборки. ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма (микросборка) прСдставляСт собой ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ бСскорпусных микросхСм, смонтированных Π½Π° ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠ±ΠΎΡ€ΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ бСскорпусныС ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ рСзисторы ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²ΡΠ·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ кондСнсаторы. ВслСдствиС высокой насыщСнности связСй коммутационная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° выполняСтся ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, являСтся ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€Π½Ρ‹ΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠΌ многослойной ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использована ΠΊΠ°ΠΊ тонкоплёночная, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Ρ‚олстоплёночная Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎ-ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ пассивныС элСмСнты (рСзисторы ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹), ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, нанСсённыС нСпосрСдствСнно Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ ΠΈΠ· ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΈ Π±Π΅ΡΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кристаллы (транзисторы, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΡ†Ρ‹, нСслоТныС микросхСмы), ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅. ΠŸΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ толстоплёночной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСмах ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ униполярныС (ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅) транзисторы со ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ «ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» — диэлСктрик (оксид) — ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ» (ΠœΠ”ΠŸΠΈΠ»ΠΈ МОП-транзисторы) ΠΈ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Π΅ транзисторы. Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΡΡ‚ΠΈΠΌ всС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы дСлятся Π½Π° Ρ‚Ρ€ΠΈ основныС Π²ΠΈΠ΄Π°: биполярныС, униполярныС (ΠœΠ”ΠŸ ΠΈΠ»ΠΈ МОП) ΠΈ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ-ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅. Число элСмСнтов Π² ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ микросхСмС Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ Π΅Π΅ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. По ΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ всС микросхСмы условно дСлят Π½Π° ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ (МИБ — Π΄ΠΎ 102 элСмСнтов Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»), срСдниС (БИБ — Π΄ΠΎ 103), большиС (Π‘Π˜Π‘ — Π΄ΠΎ 104), ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ΅ (Π‘Π‘Π˜Π‘ — Π΄ΠΎ 106), ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ΅ (Π£Π‘Π˜Π‘ — Π΄ΠΎ 109) ΠΈ Π³ΠΈΠ³Π°Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ΅ (Π“Π‘Π˜Π‘ — Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 109 элСмСнтов Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»). НаиболСС высокой ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒΡŽ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы с Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΠΉ структурой: схСмы динамичСской ΠΈ ΡΡ‚атичСской памяти, постоянныС ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ Π—Π£. Π­Ρ‚ΠΎ связано с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… схСмах доля участков повСрхности ИБ, приходящаяся Π½Π° ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, сущСствСнно мСньшС, Ρ‡Π΅ΠΌ Π² ΡΡ…Π΅ΠΌΠ°Ρ… с Π½Π΅Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΠΉ структурой.

Π’ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ ΠΆΠ΅ сущСствуСт Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ основных тСхнологичСских процСсса изготовлСния микросхСмы:

Ѐотолитография — Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ слой фоторСзиста экспонируСтся Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠΎΠΌ покрытия, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅. Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ — стСклянная пластина (ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°) с Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π½Π° Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ слоСм — ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ с ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ для оптичСского излучСния участками. ΠŸΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ· ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ стСкла (ΠΏΡ€ΠΈ экспонировании свСтом с Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ Π» Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 300 Π½ΠΌ), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ стСкла (ΠΏΡ€ΠΈ Π» ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 300 Π½ΠΌ). Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ слоя Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌ, оксиды Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°, ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈ Π΄Ρ€., ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹Π΅ износостойкиС покрытия.

Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ с ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ², Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄ΡƒΠ±Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ фоторСзистором, ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислотой ΡΡ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ диоксид крСмния. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠΊΠ½Π°, Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ся диффузия.

Диффузия — процСсс, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ пластины ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ pΠΈΠ»ΠΈ nобласти ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ ввСдСния Π°ΠΊΡ†Π΅ΠΏΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… примСсСй.

ЭпитаксиСй Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ процСсс выращивания ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ монокристалла Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ процСсс эпитаксии ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ процСсс Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ