Π—Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ курсовыС, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅, Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹...
ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π° Π·Π°ΠΊΠ°Π·. НСдорого!

Бпособы ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ оптичСских систСм

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»ΠΈ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ исслСдований, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π°, Π° Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ΅ оптичСской систСмы. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… Π±Ρ‹Π» Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π€ΡƒΠΊΠΎ Π² 1859 Π³., ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ визуализация ошибок Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ повСрхности производится наблюдСниСм Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° систСмы ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ‹, Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰Π΅ΠΉ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ плоскости изобраТСния Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, пСрСсСчСнного экраном. ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π°… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Бпособы ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ оптичСских систСм (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ процСсс создания соврСмСнной оптичСской систСмы ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ Π½Π° Π΄Π²Π° этапа: ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. На ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ этапС производятся расчСт ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² систСмы ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚ная ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° качСства изобраТСния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ стрСмятся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ систСму с ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ, насколько Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊ Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ качСство изобраТСния оцСниваСтся срСдствами оптичСских ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ.

БвСдСния ΠΎ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π΅ изобраТСния, построСнного ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ оптичСской систСмой, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ прямым ΠΈ ΠΊΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ путями. Бпособы прямой ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ состоят Π² Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ изобраТСния тСст-ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°, сформированного ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ исслСдуСмой систСмы, ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ фотомСтричСской структуры этого изобраТСния. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ тСст-ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ освСщСнная точСчная Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠ°, узкая Ρ‰Π΅Π»ΡŒ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, линСйная ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ контраста, Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ° с ΡΠΈΠ½ΡƒΡΠΎΠΈΠ΄Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌ распрСдСлСния яркости. Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ значСния Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΡ€ΠΈΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π² качСства изобраТСния, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ контраст, концСнтрация энСргии ΠΈ Ρ‚. Π΄. Π­Ρ‚ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ нСобходимости ΠΈ ΠΊΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ — ΠΏΡ€ΠΈ матСматичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π°, сформированного Π² Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ΅ исслСдуСмой систСмы [4]. ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° косвСнных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² состоят, Π° Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ характСристик качСства изобраТСния. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ этими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ‚ ΠΎΡ‚ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ° изобраТСния Π² ΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅ контроля. ΠšΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ влияниС ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… искаТСний Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π°, вносимых систСмой, Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ изобраТСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ слуТит прСдпосылкой ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ примСнСния косвСнных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… производства, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ — ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ оптичСских повСрхностСй, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ оптичСских элСмСнтов ΠΈ ΡŽΡΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ оптичСских систСм. Π’ Ρ€ΡΠ΄Π΅ случаСв косвСнныС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… характСристик систСмы, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ энСргии Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ, Ссли этому Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ограничСния, присущиС Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌ. К ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡΠΌ косвСнных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² слСдуСт отнСсти Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… для ΠΈΡ… Π²Π²ΠΎΠ΄Π° Π² Π­Π’Πœ (этот процСсс Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ), слоТный матСматичСский Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ использования Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ соврСмСнных ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, дорогостоящСго ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ обСспСчСния. Но Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ… Π½Π΅ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ываСтся влияниС Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ изобраТСния ряда Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ оптичСской систСмы, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ…, ΠΊΠ°ΠΊ:

  • — ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ оптичСских повСрхностСй, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π΅Ρ‚ΡƒΡˆΠΈ астрономичСских Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»,
  • — Π½Π΅Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ‚Π° ΠΈ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ оптичСских повСрхностСй,
  • — ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ свили ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ оптичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ…одящСм свСтС,
  • — Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ оптичСских ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ ΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ склССк Π² ΠΎΠΏΡ‚ичСских ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°Ρ…,
  • — ΡΠ²Π΅Ρ‚орассСяниС ΠΈ Π±Π»ΠΈΠΊΠΈ Π² ΠΎΠΏΡ‚ичСской систСмС ΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π΅.

Π­Ρ‚ΠΈ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡƒΡ‡Ρ‚Π΅Π½Ρ‹ прямыми ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ качСства изобраТСния, ΠΊ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡΠΌ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… слСдуСт отнСсти ΡΡƒΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΡ…, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ трудности ΠΏΡ€ΠΈ измСрСниях ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ опрСдСлСния мСста располоТСния Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² систСм, приводящих ΠΊ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅ качСства изобраТСния. Π‘ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния потрСбитСля, ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ систСму, ΡΡ‚Ρ€ΠΎΡΡ‰ΡƒΡŽ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ваТнСйшая Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° контроля — ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ структуры изобраТСния, построСнного систСмой, ΠΈ ΡΠΎΠΏΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π° с Ρ…арактСристикой, прСдсказанной Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ расчСта [4].

Как ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… способов прямой ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ качСства изобраТСния систСмы, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСмым Π΄ΠΎ ΡΠΈΡ… ΠΏΠΎΡ€, являСтся наблюдСниС ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ структуры изобраТСния свСтящСйся Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ. Π­ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся для контроля качСства Π²ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹Ρ… сфСричСских повСрхностСй, ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ микроскопов, высококачСствСнных Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ², ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ² Π·Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ± ΠΈ Ρ‚. Π΄. Π˜ΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΠ°Ρ оптичСская систСма ΠΏΡ€ΠΈ этом устанавливаСтся Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свСтящСйся Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠΊΡƒΠ»ΡΡ€ ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΠΏ. Если контролируСмая ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ, Ρ‚ΠΎ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π»ΡƒΡ‡ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ гомоцСнтричСский ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ, Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свСтящСйся Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠΆΠΊΠ°: Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ яркий Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ максимум ΠΈ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ яркоС свСтлоС ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†ΠΎ. Если ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ исслСдуСмой систСмой, искаТСн ошибками, это Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ пСрСраспрСдСлСниС энСргии Π² Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†Π°Ρ… ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠΆΠΊΠ°.

Π’ ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ контроля оптичСских систСм ΠΏΠΎ Π²ΠΈΠ΄Ρƒ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° достаточно ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ сам Ρ„Π°ΠΊΡ‚ отклонСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности ΠΎΡ‚ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚, ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ, ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€. Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ освСщСнности Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, построСнном Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ систСмой, часто Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ сопоставлСниСм с Ρ…арактСристиками Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ пятна для идСальной систСмы Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

ΠŸΡ€ΠΈ испытании оптичСской систСмы, которая ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ остаточными абСррациями ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ пятна рассСяния, Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡ‚Ρ‡Π΅Ρ‚Π»ΠΈΠ²ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ структуры, часто ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ способом измСрСния Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° пятна рассСяния ΠΏΠΎ ΠΎΠΊΡƒΠ»ΡΡ€-ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ микроскопа. Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ сопоставляСтся с Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†Π° Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠΆΠΊΠ°. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΡ€ΡƒΠΆΠΊΠ° рассСяния, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, зависит Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ распрСдСлСния освСщСнности Π² ΠΊΡ€ΡƒΠΆΠΊΠ΅, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ свСтового ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° Π² ΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅ контроля. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹, нСсмотря Π½Π° ΡΠ²ΠΎΡŽ Ρ‡ΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ лишь для ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ качСствСнной ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ Π² ΡΠΎΠΏΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΠΌΡ‹Ρ… условиях, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго — для наблюдСния ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ структуры изобраТСния Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности [4].

Π’ Ρ€ΡΠ΄Π΅ случаСв структура распрСдСлСния освСщСнности Π² ΠΏΡΡ‚Π½Π΅ рассСяния, ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚рация энСргии Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ аттСстационными характСристиками ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°. Π­Ρ‚ΠΎ касаСтся, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, астрономичСских тСлСскопов ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΎ-элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ².

Ѐункция, ΠΎΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ Π΄Π²ΡƒΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ распрСдСлСниС освСщСнности Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, называСтся Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ рассСяния Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ (Π€Π Π’) Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ систСмы.

Ѐункция рассСяния Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ.

Рис. 1 Ѐункция рассСяния Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ

ΠžΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡ΠΈΠΌ Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ h (x', y'), Π³Π΄Π΅ x' ΠΈ y' — ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ изобраТСния. ΠŸΠΎΠ½ΡΡ‚ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ рассСяния Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΈ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ [5]. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ элСмСнтарного ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°, Π° ΡΠ²Π΅Ρ‚ящаяся линяя. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ тСст-ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° позволяСт ΠΏΡ€ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ рассСяния ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ свСтовой ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π² ΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅ контроля. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, функция рассСяния Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ (Π€Π Π›) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π° ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ интСгрирования Π€Π Π’ ΠΏΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ:

Бпособы ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ оптичСских систСм.

ΠŸΡ€ΠΈ нСобходимости Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ изобраТСния, создаваСмого исслСдуСмой систСмой, Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ структуру изобраТСния тСст-ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ собой ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡƒΡŽ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ‚Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСста ΠΈΠ»ΠΈ полуплоскости. РаспрСдСлСниС яркости Ln (y) Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π΅ описываСтся Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ скачка. ΠŸΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ контраст Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π΅, ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΠΌ.

Бпособы ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ оптичСских систСм.
Бпособы ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ оптичСских систСм.

Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ распрСдСлСния освСщСнности Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСста hК (y') Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠΉ.

Π Π΅Π·ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ изобраТСния характСризуСтся ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒΡŽ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠΉ. Π’ Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠΉ зависит ΠΎΡ‚ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Ρ‹ пятна рассСяния. Π§Π΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹Ρ‚ΠΎ пятно рассСяния, Ρ‚Π΅ΠΌ большС Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ Ρ…ΡƒΠΆΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ изобраТСния. Если ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ изобраТаСтся систСмой с Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ рассСяния Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ hΠ» (Ρƒ') Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½Π°Ρ функция выраТаСтся Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (считая ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ V = 1):

Бпособы ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ оптичСских систСм.

Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π€Π Π› ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π° Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ², строящих ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ протяТСнных ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈΠ³Ρ€Π°ΡŽΡ‚ способы, основанныС Π½Π° Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ изобраТСния Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ частоты. Π’ Ρ‡Π°ΡΡ‚ности, Π΄ΠΎ Π½Π°ΡΡ‚оящСго Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΡˆΡ‚Ρ€ΠΈΡ…ΠΎΠ² Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡˆΡ‚Ρ€ΠΈΡ…ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡ€Ρ‹, построСнной систСмой, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅. ΠšΡ€ΠΈΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ способности ΠΏΡ€ΠΈ этом слуТит частота Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ поля ΠΌΠΈΡ€Ρ‹, Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ‚Π»Ρ‹Π΅ ΡˆΡ‚Ρ€ΠΈΡ…ΠΈ ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ [5].

Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»ΠΈ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ исслСдований, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π°, Π° Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ΅ оптичСской систСмы [1, 2, 8]. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… Π±Ρ‹Π» Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π€ΡƒΠΊΠΎ Π² 1859 Π³., ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ визуализация ошибок Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ повСрхности производится наблюдСниСм Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° систСмы ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ‹, Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰Π΅ΠΉ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ плоскости изобраТСния Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, пСрСсСчСнного экраном. ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ окруТаСтся свСтящимся ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»ΠΎΠΌ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»ΡƒΡ‡Π°ΠΌΠΈ. Если мСсто ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΠ΅Ρ‡ΡŒ экраном (Π½ΠΎΠΆΠΎΠΌ Π€ΡƒΠΊΠΎ), Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ пСрСкроСтся ΠΈΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π° Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Ρ‹Π΅ участки, ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π½Π° Π½Π΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ повСрхности.

Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ ста Π»Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ считался чисто качСствСнным. Однако, Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ‹ появилось ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚, Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ количСствСнных ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΎΠΊ ошибок систСмы ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ испытании Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

Π”Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅Π΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² испытания оптичСских повСрхностСй ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡŽ Π“Π°Ρ€Ρ‚ΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° для ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ ошибок Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ повСрхности ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ Ρ€ΡΠ΄Ρƒ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ Π½Π° Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ΅. Π˜ΡΡ…ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚ричСской постановки вопроса Π“Π°Ρ€Ρ‚ΠΌΠ°Π½ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π» Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΡƒΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ исслСдуСмой систСмой, ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΉ опрСдСлял Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… эти ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ пСрСсСкали ось. ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π“Π°Ρ€Ρ‚ΠΌΠ°Π½Π° состоит Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ: слСды отвСрстий Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΡ‹ Π½Π° Ρ„отопластинкС ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ изобраТСниями, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌ большС ΠΏΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌ сильнСС Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹Ρ‚Ρ‹, Ρ‡Π΅ΠΌ мСньшС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ самих Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ сущСствуСт Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΡ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ, согласно Π“Π°Ρ€Ρ‚ΠΌΠ°Π½Ρƒ, Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ 1/200 ΠΈ 1/400 фокусного расстояния. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Π·ΠΎΠ½ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ°, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΡ… число.

Π’ 1918 Π³, Π’Π²Π°ΠΉΠΌΠ°Π½ сообщил ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅. Π‘ΡƒΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ состояла Π² ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ плоского Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π° с Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ систСмы, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ для случая отсутствия ошибок ΠΈ Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ. Π’. Π΅. Ρ€Π΅Ρ‡ΡŒ шла ΠΎΠ± ΠΈΠ½Ρ‚СрфСромСтричСском ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° исслСдования оптичСской систСмы ставится ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° ΠΎ Π΄Π΅Ρ„ормациях, ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΠ΅Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ свСтовой Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹. ОсобоС прСимущСство ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΡ‹ состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… условиях ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π° интСрфСрСнционная ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Π°, подобная топографичСской ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π΅; исслСдуСмой Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ повСрхности, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ уровня (Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΠΈ) прСдставлСны Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ полос с Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ…ΠΎΠ΄Π°, ΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹.

ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ интСрфСромСтричСского ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π² Π΅Π³ΠΎ исходной Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊ полосы измСняСтся ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ½ΡƒΡΠΎΠΈΠ΄Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Ρƒ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ полос Π½Π΅ΠΎΡ‚Ρ‡Π΅Ρ‚Π»ΠΈΠ²Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,05 ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ полосы.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ рСгистрации Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ, ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‰ΡƒΡŽΡΡ Π² Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ оптичСских измСрСниях, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ структуру изобраТСния ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Ρƒ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡƒ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ максимально Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ точности ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ устройства автоматичСского Π²Π²ΠΎΠ΄Π° Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² Π­Π’Πœ, НапримСр, каТдая интСрфСрСнционная полоса ΡΠΈΠ½ΡƒΡΠΎΠΈΠ΄Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ структуры трансформируСтся Π² ΠΏΠ°Ρ€Ρƒ Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠ² [5].

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ