Методика формирования металлических покрытий на устройстве ВУП-5 и исследование спектрофотометрических характеристик

Общие сведения и устройство ВУП-5

ВУП-5 — Вакуумный универсальный пост.

1-рабочая камера; 2-вентиль для напуска воздуха: 3-высоковакуумный затвор; 4-ловушка; 5-деффузионный насос: 5-форвакуумиый насос: 7-вентиль для напуска воздуха в насос; 8-вентиль.

Прибор выполнен одной стойкой, в которой размещены рабочий объем, предназначенный для препарирования объектов; вакуумная система, предназначенная для получения требуемого режима в рабочем объеме; блоки питания устройств и приставок и пульты управления.

Стойка разделена перегородкой на две части, в одной из которых размещена вакуумная система с электромагнитными клапанами для ее коммутации, преобразователи ПМТ-4М или ПМТ-2, ПМИ-3 для контроля вакуума и автоматического управления вакуумной системой, вентиль пьезоэлектрической и баллон с аргоном. В другой части стойки размещены блоки питания устройств и приставок и трансформаторы накала испарителей.

Для удобства монтажа, профилактических и ремонтных работ предусмотрены съемные задние и боковые щитки, а впереди открывающиеся двери обеих частей, а также легкосъемные платы управления прибором, собранные в единой кассете.

На стойке размещены рабочий объем и пульт управления и индикации режимов работы прибора. Все блоки питания, пульты управления, кассеты с печатными платами имеет электрическую связь через жгуты и кабели, уложенные в обеих частях стойки.

Оригинальным в конструкции вакуумной системы является высоковакуумный клапан. Клапан устанавливается на столике рабочего объема. Он содержит заслонку, рычаг и привод. Атмосферное давление, воздействующее на верхнюю часть плунжера, перемещает его с тягой вниз, сжимая пружину. Левая часть рычага с заслонкой поднимается и соединяет диффузионный насос с рабочим объемом.

Для подготовки к исследованию имеются устройства и приставки. Эти устройства и приставки устанавливаются в рабочем объеме в зависимости от выбора методики подготовки отбора. Каждое из устройств имеет вакуумное конструкцию и легко заменяется, одно другим. Все операции по подготовки объекта контролируются с помощью индикаторных приборов и других методов контроля.

Основными операциями по подготовки объектов можно назвать термическое испарение вещества с помощью резистивных и электронного испарителей, а так же ионную обработку объектов.

резистивный покрытие вакуумный пленка Схема процесса термического напыления:

Рабочая камера вакуумной установки представляет собой цилиндрический металлический или стеклянный колпак (1), который устанавливается на опорной плите (7). Между колпаком и плитой находится резиновая прокладка, обеспечивающая вакуум плотное соединение. Внутри рабочей камеры расположены: подложка (4), которая закрепляется на держателе (3), нагреватель подложки (2) испаритель (6) для нагрева напыляемых веществ. Между испарителем и подложкой устанавливается заслонка (5), позволяющая в нужный момент прекращать попадание испаряемого вещества на подложку. Рабочая камера откачивается вакуумным насосом. Остаточное давление под колпаком измеряется специальным прибором — вакуумметром. Давление измеряется в мм. рт. ст.

Процесс термического напыления в вакууме разбивается на три этапа.

• 1. Испарение вещества.
• 2 Распространение паров испаряемого вещества.
• 3. Конденсация паров испаряемого вещества на подложке и образование пленочной структуры.

Технические особенности работы ВУП-5

При включении питания на ВУП-5 включается вентилятор охлаждающий систему.

Включением кнопки откачки, начинается работа форвакуумного насоса, который создает предварительный вакуум порядка Па.

После предварительной откачки включается диффузионный насос. Предельный вакуум, создаваемый ВУП-5 с данными типами насосов, составляют порядка Па[4].