Заключение. 
Способ резистивного испарения материалов электронной техники

В ходе выполнения дипломной работы проведён литературный обзор по способам резистивного испарения материалов электронной техники. Изучены методики термовакуумного нанесения тонких металлических покрытий. В процессе выполнения курсовой работы были решены следующие задачи:

• — Изучены способы и методы нанесения металлических покрытий резистивным (термовакуумным) способом;
• — выполнен ряд экспериментов по нанесению тонких плёнок металлов (Al, Cu, Bi) на прозрачные покрытия (SiО2);
• — Были измерены и зафиксированы спектральные характеристики металлических покрытий.

Полученные тонкоплёночные материалы имеют очень высокую отражательную способность:

Для алюминия он составляет.

при л= 800 нм.

при л= 1000 нм Для меди он составляет.

при л= 400 нм.

91.9% при л= 1000 нм Для висмута он составляет.

при л= 400 нм.

% при л= 1000 нм где R — коэффициент отражения.

Список литературы

• 1. Отчет об испытаниях электрофизических свойств образцов тонких пленок на стеклянных подложках. Санкт-Петербург 2006 г.
• 2. Электрохимия тонких металлических плёнок. Москва 2011
• 3. http://studopedia.su/14_17 459_issledovanie-opticheskih-svoystv-tonkih-plenok.html
• 4. Минайчев В. Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок.
• 5. http://referatwork.ru/refs/source/ref-116 018.html
• 6. http://www.ngpedia.ru/id66216p1.html
• 7. Технология тонких пленок. Москва 1977 г
• 8. Получение и свойства тонких пленок. Киев 1982 г.
• 9. Вакуум и тонкие пленки: курс лекций для студентов вузов по специальности Физика (научно-педагогическая деятельность)
• 10. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Берлин Е. В., Сейдман Л.А.
• 11. Вакуумное нанесение тонких пленок. Данилин Б.С.
• 12. Технология тонких пленок: учебное пособие. Антоненко С. В.
• 13. Тонкие пленки/ Химическая энциклопедия. — М.: Большая Российская энциклопедия.
• 14. Расчет оптических характеристик пленок. Черемухин Г. С. 1976